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DS: Dünne Schichten

DS 31: Postersitzung

DS 31.35: Poster

Tuesday, March 27, 2001, 16:30–17:30, Foyer Saal 4

Hochauflösende Ionenstreuung mit schweren Ionen — •Christoph Klein, Rainer Grötzschel und Michael Mäder — Inst. für Ionenstrahlphysik und Materialforschung, FZ Rossendorf, Postfach 510119, 01314 Dresden

Ein Magnetspektrometer zur hochauflösenden Tiefenprofilanalyse mittels Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS) wird vorgestellt. Die dabei auftretenden Fragen hinsichtlich der Ladungszustandsverteilung der gestreuten Ionen werden anhand gemessener Ladungszustandsverteilungen von Li, C, F und Cl nach Streuung an Sub-Monolagen von Au und Ta für verschiede Energien unterhalb 1MeV/amu diskutiert.