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DS: Dünne Schichten

DS 31: Postersitzung

DS 31.49: Poster

Dienstag, 27. März 2001, 16:30–17:30, Foyer Saal 4

Optische Charakterisierung von LB-Filmen auf Au and Si mit IR-Ellipsometrie — •K. Hinrichs¹, E.H. Korte¹, A. Röseler¹ und R. Dietel² — ¹Institut für Spektrochemie und angewandte Spektroskopie- Institutsteil Berlin, Albert-Einstein-Str. 9, D-12489 Berlin-Adlershof — ²Institut für Dünnschichttechnologie und Mikrosensorik e.V., Kantstr.55, 14513 Teltow

In demselben Präparationsschritt hergestellte Langmuir Blodgett (LB)-Filme auf Au- und Si-Substraten werden mit IR-Ellipsometrie charakterisiert. Die Dicke der Filme (d=58 nm) und die Brechungsindexkomponente in Richtung der Normalen der Schicht (nz=1,43) werden aus einer Best-Fit Rechnung [1,2] in einem anisotropen Schichtenmodell aus den ellipsometrischen Spektren der LB/Au Proben ermittelt. Molekülschwingungen werden durch harmonische Oszillatoren genähert. Eine Variation der Fitparameter erfolgt solange, bis die Modellierung der Ergebnisse für drei verschiedene Einfallswinkel konsistent ist. Die so ermittelten Parameter dienen als Eingangsdaten für die z-Komponente zur Modellierung der ellipsometrischen Spektren der LB/Si-Proben. Nach Tempern der Proben auf 130^∘C zeigen sich in den Spektren Frequenzverschiebungen von Banden, aber auch Veränderungen in den Bandenformen, die charakteristisch für eine Umorientierung der Moleküle auf der Oberfläche sind. [1] J. Humlicek, A. Röseler, Thin Solid Films 234, 332 (1993). [2] M. Schubert, T. E. Tiwald, C. M. Herzinger; Phys. Rev. B 61, 8187 (2000).