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DS: Dünne Schichten

DS 4: Silicide I

Montag, 26. März 2001, 09:30–11:00, S 13/14

	09:30	DS 4.1	Hauptvortrag: Von Silicidschichten zu selbstbildenden Nanostrukturen und NanoMOSFETs — •Siegfried Mantl
	10:15	DS 4.2	Hauptvortrag: Seltenerdsilicidschichten auf Silicium — •M. Dähne, S. Vandré, C. Preinesberger, S. Becker und T. Kalka