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DS: Dünne Schichten

DS 9: Laserverfahren I

DS 9.5: Vortrag

Dienstag, 27. März 2001, 10:30–10:45, S 5.1

Gepulste Laserdeposition von Polymerschichten — •E. Süske¹, P. Schaaf², H. Kijewski³ und H.-U. Krebs¹ — ¹Institut für Materialphysik, Windausweg 2, 37073 Göttingen — ²II. Phys. Institut, Bunsenstraße 7-9, 37073 Göttingen — ³Institut für Rechtsmedizin, Windausweg 2, 37073 Göttingen

Mit Hilfe der gepulsten Laserdeposition (PLD) wurden dünne Polymerschichten der Polymere PMMA, PC, PI und PTFE auf Si und Metallen deponiert. Durch Rasterelektronenmikroskopie (REM), energiedispersive Röntgenanalyse (EDX), Infrarotspektroskopie (FTIR), Rutherford-Rückstreuung (RBS) und Thermogravimetrie (TGA) wurde die Oberflächenbeschaffenheit, Struktur, Zusammensetzung und thermische Stabilität der Filme untersucht. In diesem Vortrag werden die Eigenschaften der Filme mit denen der Ausgangsmaterialien verglichen.