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DY: Dynamik und Statistische Physik

DY 46: Poster

DY 46.50: Poster

Donnerstag, 29. März 2001, 15:45–18:15, Foyer S\ 3

Amorphes Schichtwachstum: Effekte von Dichteinhomogenitäten — •Martin Raible, Stefan J. Linz und Peter Hänggi — Theoretische Physik I, Institut für Physik, Universität Augsburg, D-86135 Augsburg

Bei der Untersuchung des Wachstums von amorphen Schichten ist die Berücksichtigung von Dichtevariationen in der Modellgleichung [1-2] unabdingbar, um eine zufriedenstellende Übereinstimmung mit Experimenten zu erzielen. Frühere Ergebnisse waren auf den bisher experimentell zugänglichen Bereich bis zu Schichtdicken von 480nm beschränkt [3]. Wir führen jetzt den Vergleich der Modellgleichungen mit und ohne Dichtevariation auf einer signifikant längeren Zeitskala des Aufdampfprozesses durch [4]. Insbesondere untersuchen wir die zeitliche Entwicklung der Korrelationslängen, Rauhigkeiten, Höhendifferenzkorrelationen und Höhenprofile und ihr Skalenverhalten. Dies erlaubt neue Vorhersagen für zukünftige Experimente. Außerdem wird begründet, daß beim Aufdampfprozeß entstehende laterale Spannungen (Grinfeld-Instabilität) keinen signifikanten Einfluß auf das Oberflächenwachstum haben.
Dieses Projekt wird gefördert vom Sonderforschungsbereich „Mathematische Modellierung, Simulation und Verifikation in materialorientierten Prozessen und intelligenten Systemen“, SFB 438.
M. Raible, S.J. Linz, P. Hänggi, Phys. Rev. E 62, 1691 (2000)
S.J. Linz, M. Raible, P. Hänggi, Lect. Notes in Phys. 557, 473 (2000)
M. Raible, S.G. Mayr, S.J. Linz, M. Moske, P. Hänggi, K. Samwer, Europhys. Lett. 50, 61 (2000)
M. Raible, S.J. Linz, P. Hänggi, unpublished