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Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 29: Neue Materialien und Verfahren

HL 29.4: Vortrag

Donnerstag, 29. März 2001, 11:15–11:30, S17

MOVPE-Wachstum und Charakterisierung von verdünnt-magnetischem (GaMn)As — •Michael Lampalzer, Kerstin Volz, Werner Treutmann, Siegfried Nau, Torsten Torunski und Wolfgang Stolz — Wissenschaftliches Zentrum für Materialwissenschaften, Philipps-Universität Marburg

Für zukünftige Entwicklungen im Bereich Magneto-Optik und Spinelektronik ist die Kombination magnetischer Eigenschaften und III/V-basierender Halbleitermaterialien von besonderer Bedeutung. Bislang wurde für das Wachstum verdünnt-magnetischer III/V-Halbleiter ausschließlich die Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) verwendet. Hier werden erstmalig (GaMn)As-Schichtuntersuchungen mittels metallorganischer Gasphasenepitaxie (MOVPE) vorgestellt.
Mit Hinblick auf die erforderlichen niedrigen Wachstumstemperaturen (400C bis 600C) wurden die effizienteren Quellen Triethylgallium (TEGa) und Tertiärbutylarsin (TBAs) eingesetzt. Als Mn-Quelle diente Bis(methylcyclopentadienyl)manganocen (MeCp)2Mn. Hochauflösende R öntgenbeugung (HR-XRD) und gute optische Eigenschaften in den Photolumineszenzmessungen (PL) bestätigen die hohe strukturelle Qualit ät der Volumenschichten. Neben dem Wachstum epitaktischer Filme konnte f ür größere Mn-Partialdrücke bei hohen Temperaturen (550C bis 600C) die Bildung von Clustern beobachtet werden. Untersuchungen mittels Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und Rasterkraftmikroskopie (AFM) werden vorgestellt und diskutiert. Magnetisierungsmessungen weisen in einigen Proben ferromagnetische Kopplung oberhalb 300 K nach.

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