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HL: Halbleiterphysik
HL 37: Unordnung und Wechselwirkung
HL 37.4: Vortrag
Donnerstag, 29. März 2001, 16:15–16:30, S16
Luminenszenz von Erbium-Ionen in a-SiOx:H — •Matthias Schmidt1, Andreas Janotta1, Rainer Janssen1, Christoph Buchal2 und Martin Stutzmann1 — 1Walter Schottky Institut, Am Coulombwall, 85748 Garching — 2FZ Jülich, ISI - 2, 52425 Jülich
Er3+-Ionen zeigen
einen intra-4f Übergang bei einer Wellenlänge von 1.54 µm, dem
Transmissionsmaximum gängiger optischer Fasern. Amorphe hydrogenisierte
Silizium-Suboxide (a-SiOx:H) eignen sich auf Grund der durch den
Sauerstoffgehalt veränderbaren optischen Bandlücke E04 als
Wirtsmaterial für den Einbau von Er-Ionen und die Untersuchung des
Energietransfermechanismus zwischen elektronischen Zuständen des
Wirtsgitters und der Er-Ionen.
Er-Ionen wurden durch Implantation in
intrinsische a-SiOx:H mit Sauerstoffgehalten von 0 bis 50 at.%
eingebracht. Tempern für eine Stunde bei 250 - 300 ∘C heilt
Implantationsschäden aus und aktiviert die Er-PL. Eine intensive
Er-Lumineszenz wird nur für Konzentrationen größer als 1020
cm−3 erzielt.
Die Abhängigkeit der Erbiumlumineszenzintensität von
Temperatur und Sauerstoffgehalt ermöglicht Aussagen über die Art des
Energietransfers von SiOx zu Er3+. Auch erste Ergebnisse
hinsichtlich einer Er-Elektrolumineszenz sowie Untersuchungen zum
Einfluß von Er-O-Komplexen werden vorgestellt.