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HL: Halbleiterphysik

HL 7: Poster I

HL 7.95: Poster

Montag, 26. März 2001, 10:30–19:00, Rang S\ 3

Konzept eines Spin-Ventil-Bauelementes auf Silizium-Basis — •T. Last, S. Hacia, U. Wieser, M.-K. Sostarich und U. Kunze — Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum

Es wird ein Konzept zur Realisierung eines Spin-Ventil-Bauelementes vorgestellt, das zur Untersuchung von spinabhängigem Elektronentransport in Ferromagnet-Halbleiter-Strukturen dienen soll. Hierbei konzentrieren sich die Arbeiten zunächst auf die Entwicklung eines Prozesses zur Präparation ferromagnetischer Tunnelkontakte mit möglichst einfacher Technologie. Die Geometrie der Kontaktgebiete wird im Hinblick auf das Anstreben von eindomänigen Strukturen variiert, um einen hohen Polarisationsanteil an injizierten Ladungsträgern aus dem Ferromagneten in den Halbleiter zu erreichen. Das Silizium-Substrat wird mit zwei unterschiedlich breit strukturierten Tunnelkontakten versehen, wobei thermisch gewachsenes SiO₂ als Tunnelbarriere verwendet wird. Die Metallisierung mit Permalloy erfolgt durch Elektronenstrahlverdampfen und Lift-Off-Strukturierung. Die magnetische Struktur der Kontakte wird mit Hilfe eines Magnetkraftmikroskops untersucht.