Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

O: Oberflächenphysik

O 25: Postersitzung (Grenzfl
äche fest-flüssig, Methodisches, Nanostrukturen, Organische Dünnschichten, Rastersondentechniken, reine Oberfl
ächen, Teilchen und Cluster, Zeitaufgelöste Spektroskopie, Sonstiges)

O 25.22: Poster

Mittwoch, 28. März 2001, 15:00–18:00, Foyer zu B

Lokale elektroneninduzierte Oxidation von amorphem Kohlenstoff - Experimente zum Verständnis des mikroskopischen Mechanismus — •T. Mühl¹, C.M. Schneider¹ und G. Reiss² — ¹IFW Dresden, PF 270016, D-01171 Dresden — ²Universität Bielefeld, Fakultät Physik, Universitätsstraße 25, D-33615 Bielefeld

Amorphe Kohlenstoffschichten können durch elektroneninduzierte Oxidation mit Hilfe leitfähiger Sonden dreidimensional strukturiert werden. Dabei lassen sich Strukturen mit Abmessungen von wenigen Nanometern erzeugen.

In dieser Arbeit stellen wir Experimente vor, bei denen der Einfluß verschiedener Parameter (elektrischer Strom, elektrische Spannung, Sondenmaterial) auf das Strukturierungsverhalten untersucht wurde. Beispielsweise beträgt die Schwellspannung für das Einsetzen des Prozesses bei Verwendung von Wolfram-STM-Sonden knapp 4 Volt, bei Silizium-AFM-Sonden dagegen etwa 7 Volt. Diese Ergebnisse erlauben Rückschlüsse auf den mikroskopischen Ablauf der Oxidation des amorphen Kohlenstoffes.