Hamburg 2001 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 25: Postersitzung (Grenzfl
äche fest-flüssig, Methodisches, Nanostrukturen, Organische Dünnschichten, Rastersondentechniken, reine Oberfl
ächen, Teilchen und Cluster, Zeitaufgelöste Spektroskopie, Sonstiges)

O 25.45: Poster

Wednesday, March 28, 2001, 15:00–18:00, Foyer zu B

Projektionsmaskentechnik für die Herstellung von polykristallinen Diamantsonden — •Antonio Malave, Thomas Leinhos und Egbert Oesterschulze — Universität Kassel, Institut für Technische Physik, 34132 Kassel, Heinrich-Plett Str.40

In vielen Anwendungen der Rastersondenmikroskopie sind Sonden mit Spitzen gefragt, die eine besondere mechanische Stabilität besitzen und leitfähig sind. Aufgrund seiner extremen Härte, und der Möglichkeit, seine Leitfähigkeit mittels Bordotierung über 20 Dekaden zu variieren, ist Diamant ein attraktives Material für die Fertigung solcher Sonden. Dabei stellt aber der polykristalline Charakter von abgeschiedenen Diamantfilmen in Hinblick auf eine reproduzierbare Herstellung ein Hindernis dar. Die Mehrheit der bekannten Techniken für die Fertigung von Diamantsonden basiert auf der Abformung von Diamantfilmen von einem strukturierten Substrat. Bei diesen Verfahren führt aber eine unzureichende Nukleationsdichte auf dem Substrat zu einer unvollständigen Auffüllung der tief geätzten Strukturen. Damit wird eine reproduziebare Herstellung der Spitzen behindert. Weiterhin besteht die Spitze aus dem weniger hochwertigen Material der Zwischenschicht Substrat-Diamantfilm. Zusätzliche Probleme bereitet die Handhabung dieser Abformsonden in dem Rastersondenmikroskop. In unserem Beitrag wird eine Projektionsmaskentechnik vorgestellt, die viele der oben genannten Probleme löst. Diese Technik kann zudem auf andere Materialen, wie Dielektrika, Metalle usw., übertragen werden.