Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 25: Postersitzung (Grenzfl
äche fest-flüssig, Methodisches, Nanostrukturen, Organische Dünnschichten, Rastersondentechniken, reine Oberfl
ächen, Teilchen und Cluster, Zeitaufgelöste Spektroskopie, Sonstiges)
O 25.53: Poster
Mittwoch, 28. März 2001, 15:00–18:00, Foyer zu B
Sensitivität und Rauschgrößen selbstdetektierender Kraftmikroskopsensoren — •S. Hembacher, T. Ottenthal, F.J. Giessibl und J. Mannhart — Experimentalphysik VI, EKM Institut für Physik, Universität Augsburg, D-86135 Augsburg
Als selbstdetektierende Kraftsensoren werden in der
Kraftmikroskopie Sensoren bezeichnet, die ein der Auslenkung
proportionales
elektrisches Strom- bzw. Spannungssignal ohne Benutzung zusätzlicher
optischer Komponenten wie Laser oder Fotodiode liefern. Beispiele für
solche
Sensoren stellen der piezoresistive Cantilever [1] und der auf dem
piezoelektrischen Effekt basierende qPlus-Sensor [2] dar. Mit beiden
Sensoren
wurde atomare Auflösung auf der Si(111) 7×7 Oberfläche
gezeigt [3]. Für
beide Sensortypen, die auch für den Einsatz bei tiefen Temperaturen von
großem Interesse sind, diskutieren wir die Sensitivität und die
Rauschgrößen.
Die kleinste zu detektierende Kraft (bzw. Frequenzverschiebung) wird bei
dem qPlus-Sensor, neben dem Eigenrauschen des Sensors selbst, von den
Rauschgrößen des verwendeten Vorverstärkers bestimmt. Die Ergebnisse
einer Modellrechnung, welche diese Rauscheigenschaften beschreibt,
werden mit
Meßdaten verglichen.
Diese Arbeit wurde vom BMBF (Projekt Nummer 13N6918/1)
gefördert.
[1] M. Tortonese et al., Appl. Phys. Lett. 82
(8), 834-836 (1993).
[2] F.J. Giessibl, Appl. Phys. Lett. 76, 1470-1472 (2000).
[3] F.J. Giessibl, Science 267, 68-71 (1995).