Hamburg 2001 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 29: Rastersondentechniken (II)

O 29.11: Talk

Thursday, March 29, 2001, 13:00–13:15, M

Lokale anodische Oxidation von Titan- und Niob-Schichten mittels Rasterkraftmikroskopie — •A. Grabowski, C. Stief, U. Memmert, and U. Hartmann — Institut für Experimentalphysik, Universität des Saarlandes, Im Stadtwald, D-66041 Saarbrücken

Bei Betrieb eines Rasterkraftmikroskops unter atmosphärischen Bedingungen kann die sich zwischen Spitze und Probe ausbildende Wasserkapillare ausgenutzt werden, um eine lateral begrenzte anodische Oxidation durchzuführen. Dabei agiert die Spitze als Kathode und die Probe als Anode. Bei den vorliegenden Experimenten wurde die lokale Oxidation von Titan- und Niob-Schichten untersucht. Diese Materialien wurden wegen der halbleitenden Eigenschaften von Titanoxid und der supraleitenden Eigenschaften von Niob ausgewählt. Die erzielbaren Strukturgrößen wurden in Abhängigkeit verschiedener Prozeßparameter wie der anliegenden Spannung, der Oxidationszeit, der Luftfeuchtigkeit und der Kraft, mit der die Spitze während der Oxidation auf die Probe gedrückt wird, untersucht. Die Resultate dieser Untersuchungen werden mit verschiedenen Modellen für die Oxidationskinetik verglichen. Erste Anwendungen zur Modifikation lithographischer Mikrostrukturen werden diskutiert.