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O: Oberflächenphysik
O 33: Methodisches (Experiment und Theorie)
O 33.1: Talk
Thursday, March 29, 2001, 15:30–15:45, M
Druck- und Temperaturabhänige Oxidation von CoGa untersucht mit oberflächensensitiver Röntgenstreuung — •Reinhard Streitel1, A. Stierle1, S. Kumaragurubaran1, H. Dosch1 und R. Franchy2 — 1Max-Planck Institut für Metallforschung, Heisenbergstraße 1, 70569 Stuttgart — 2Institut für Grenzflächenforschung und Vakuumphysik Jülich, D-52425 Jülich
Die Herstellung von wohldefinierten geordneten Oxidschichten findet in verschiedenen technologischen Bereichen (Katalysatoren, Sensoren, Displaytechnik) Anwendung. Durch Variation von Temperatur und Druck läßt sich z.B. die Oxidation von CoGa Oberflächen gezielt beeinflussen. Unter Verwendung eines 2D-Detektors wurden in-situ Röntgenstreufilme mit einer Zeitauflösung von bis zu 1.5 Sekunden aufgenommen. Dabei beobachten wir die zeitliche Änderung der Intensität an oberflächensensitiven Positionen im reziproken Raum. Bei niedrigen Temperaturen zeigt sich die Bildung von amorphem Galliumoxid, welches sich nach der Oxidation beim Übergang zu höheren Temperaturen ordnet. Bei einem Druck von 3· 10−8hPa beobachtet man zwischen 600 K und 700 K eine Änderung des Wachstumsverhaltens. Bei Wachstumstemperaturen von 800 K zeigt sich, daß das Oxidwachstum erst ab einem bestimmten Sauerstoffpartialdruck einsetzt. Davor ist die Desorptionsrate größer als die Nukleation. Die Messungen wurden an der Europäischen Synchrotronstrahlungsquelle (ESRF) am Strahlrohr ID32 durchgeführt.