Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 5: Oberfl
ächenreaktionen (I)
O 5.8: Vortrag
Montag, 26. März 2001, 13:00–13:15, M
Chemische Reaktionen von Ammoniak auf AlN(0001) — •Jürgen Fritsch, Stefan Tausendpfund und Alexander Dvořák — Institut für Theoretische Physik, Universität Regensburg
Mit Hilfe von ab initio-Molekulardynamik-Simulationen werden chemische Reaktionen von Ammoniak auf AlN untersucht. Die auf der Entwicklung der elektronischen Zustände nach ebenen Wellen und auf der Verwendung separabler Pseudopotentiale beruhenden Rechnungen werden an periodisch wiederholten Kristallfilmen durchgeführt. Wir betrachten die dissoziative Chemisorption von NH3 an der AlN(0001) (2×2) Fehlstellenrekonstruktion, bei der sich das in NH2 und H aufbrechende Molekül an der Oberfläche anlagert. Zur Identifizierung des Übergangszustandes wird ein von der nudged elastic band-Methode [1] abgeleitetes Relaxationsverfahren herangezogen, mit dem der Reaktionspfad minimaler Energie bestimmt werden kann. Die Rolle der Schwingungs- und Rotationsfreiheitsgrade des Systems wird auf der Grundlage der für endliche Temperaturen berechneten Teilchentrajektorien analysiert. Die Resultate werden in Hinblick auf experimentell beobachtete Depositionsraten diskutiert [2].
[1] A. Ulitsky und R. Elber, J. Chem. Phys. 92, 1510 (1990).
[2] V.M. Torres, R.B. Doak, D.J. Smith und I.S.T. Tsong, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1570 (1999).