Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm

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PV: Plenarvorträge

PV XIV

PV XIV: Plenarvortrag

Freitag, 30. März 2001, 08:30–09:15, S 2

Halbleiter-Quantenpunkte: Welche Informationen kann die Elektronenmikroskopie liefern ? — •Dagmar Gerthsen und Andreas Rosenauer — Laboratorium fuer Elektronenmikroskopie, Universitaet Karlsruhe, Kaiserstr.12, 76131 Karlsruhe

Das selbstorganisierte epitaktische Wachstum wird intensiv zur Herstellung von Halbleiter-Quantenpunktstrukturen eingesetzt. Dabei treten oft deutliche Abweichungen zwischen den gewünschten nominellen und den tatsächlichen Eigenschaften auf, die sich auf die Funktion der Quantenpunkte, z.B. die Wellenlänge des emittierten Lichtes in Laserstrukturen, auswirken. Verantwortlich dafür sind grundlegende Prozesse wie Segregation, Interdiffusion oder thermodynamische Instabilität der Halbleiterlegierung, die beim epitaktischen Wachstum auftreten können. Die hochauflösende Transmissionselektronenmikroskopie in Kombination mit geeigneten Bildauswertealgorithmen eröffnet die Möglichkeit, nicht nur die strukturellen Eigenschaften der Quantenpunkte (Form, Größe, Dichte) zu bestimmen, sondern auch - als Voraussetzung für das Verständnis der grundlegenden Prozesse bei der Halbleiterepitaxie - die Zusammensetzung auf atomarer Skala zu analysieren. Dies wird an Beispielen aus den Systemen InAs/GaAs, CdSe/ZnSe und GaN/InN demonstriert.