Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm

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SYLS: Lasergestützte Schichtabscheidung und Oberflächenmodifizierung

SYLS I: HV I

SYLS I.1: Hauptvortrag

Montag, 26. März 2001, 14:00–14:45, S5.1

Laserablation - ein universelles Beschichtungsverfahren — •Bernd Stritzker — Institut für Physik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg

Seit die Laserablation (PLD) ihr Potential zur Abscheidung dünner Schichten mit komplizierter stöchiometrischer Zusammensetzung bei der unproblematischen Herstellung epitaktischer HTS-Filme bewiesen hat, wird sie zunehmend in den verschiedensten Bereichen der Dünnschichtherstellung eingesetzt. Während PLD zunächst auf die Beschichtung kleiner Substrate im Labormaßstab beschränkt schien, wird PLD nun zunehmend auch für die Realisierung großflächiger homogener Beschichtungen eingesetzt. Heute wird die Laserablation nicht nur zur Abscheidung keramischer Materialien sondern auch im Bereich der Metalle und Halbleiter erfolgreich angewendet. Vorteilhaft erweist sich dabei auch die einfache Kombinierbarkeit der PLD mit anderen, z.B. ionengestützten Verfahren.

Basierend auf den physikalischen Grundlagen werden die Eigenschaften der Laserablation bezüglich ihrer Universalität und Einfachheit bei den verschiedenen aktuellen Schichtsystemen demonstriert. Insbesondere werden auch die interessanten Eigenschaften der bei diesem Nichtgleichgewichtsprozess entstandenen Schichten diskutiert.