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SYWS: Simulation von Wachstum und Strukturbildung

SYWS VI: HV VI

SYWS VI.1: Hauptvortrag

Mittwoch, 28. März 2001, 18:15–18:45, S8

Modellierung von Strukturbildung und mechanischen Spannungen während des Wachstums amorpher Aufdampfschichten — •S.G. Mayr — Frederick Seitz Materials Research Laboratory, University of Illinois at Urbana-Champaign

Das Wachstum amorpher Aufdampfschichten zeichnet sich – unabhängig von den Details der verwendeten Legierung – durch eine deutliche Strukturbildung und intrinsische mechanische Wachstumsspannungen in Abhängigkeit von der Schichtdicke aus. Nach substratabhängigen Frühstadien [1] ist das Schichtwachstum im Bereich mittlerer Schichtdicken (typ. 100nm) durch relativ glattes Wachstum unter kontinuierlichem Druckspannungsaufbau charakterisiert. In den Wachstumsspätstadien rauhen die Oberflächen unter deutlichem Zugspannungsaufbau stark auf. Durch systematische experimentelle Variation der Herstellungsparameter ist es möglich, die wesentlichen atomaren Mechanismen der mesosopischen Strukturbildung und Wachstumsspannungen zu klären, und einen Zusammenhang zwischen beiden Aspekten herzustellen. Im Rahmen von Kontinuumswachstumsmodellen, denen Oberflächendiffusion, Selbstabschattung und Hügelkoaleszenz als wesentliche atomare Mechanismen zugrunde liegen, ist ein quantitatives Verständnis der Strukturbildung und der Zugspannungen im Bereich großer Schichtdicken möglich [2]. Ein Oberflächenrekonstruktionsmechanismus kann die gemessenen Druckspannungen bei mittleren Schichtdicken erklären.
Gefördert durch den SFB 438 Augsburg–München, TP A1

[1] S.G. Mayr, M. Moske und K. Samwer, Europhys. Lett. 44, 465

[2] S.G. Mayr, M. Moske and K. Samwer, Phys. Rev. B 60, 16950