Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 25: Postersitzung III: Pinning und Vortexdynamik, Massive HTSL, Bandleiter, Transporteigenschaften in HTSL, SL dünner Filme, Elektronen und Phononen in HTSL, Tunneln, Borkarbide, Quantenphasen und Metall-Isolator-Überg
änge, Anwendungen, Sonstiges
TT 25.11: Poster
Donnerstag, 29. März 2001, 14:30–17:00, Rang S\ 3
Großflächige Abscheidung biaxial texturierter Pufferschichten aus Yttrium-stabilisiertem Zirkondioxid auf technischen Substraten — •S. Sievers1, J. Dzick1,2, J. Hoffmann2, A. Usoskin2, A. Isaev2, F. Garcia-Moreno2, J. Knoke2 und H. C. Freyhardt1,2 — 1Institut für Materialphysik, Hospitalstr. 3-7, 37073 Göttingen — 2Zentrum für Funktionswerkstoffe gGmbH, Windausweg 2, 37073 Göttingen
Biaxial texturierte YSZ-Filme wurden mittels ionenstrahlunterstützter Deposition (IBAD) auf keramischen Platten und metallischen Bändern abgeschieden. Bei den metallischen Bändern steht die Herstellung sog. coated conductor, d.h. langer, schmaler Bänder (10 m x 3,5 mm) im Vordergrund. Dazu wird auf Edelstahlbändern mit IBAD-YSZ Pufferschicht mittels PLD ein supraleitender YBCO- Film deponiert. Wichtige Einflussgrößen bei der großflächigen Abscheidung von IBAD-YSZ Filmen sind die Divergenz des unterstützenden Ionenstrahls und die Substraterwärmung. Die gezielte Aufweitung des unterstützenden Ionenstrahls ist erforderlich, um auf großen Depositionsbereichen eine homogene Texturqualität zu erzeugen - gleichzeitig ändert sich damit die Divergenz und die Einschussrichtung des effektiven Ionenstrahls, was zu einer Drehung der in-plane Ausrichtung bzw. zu Abweichungen vom optimalen Einschusswinkel führt. Der hohe Energieeintrag während der Filmherstellung führt aufgrund der geringen Wärmekapazität der Substrate zu einer schnellen Erwärmung und damit zu einer Degradation der Texturqualität. Diese Erwärmung kann durch geeignetes Bewegen der Substrate unter dem Beschichtungsfenster effektiv begrenzt werden.