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TT: Tiefe Temperaturen
TT 25: Postersitzung III: Pinning und Vortexdynamik, Massive HTSL, Bandleiter, Transporteigenschaften in HTSL, SL dünner Filme, Elektronen und Phononen in HTSL, Tunneln, Borkarbide, Quantenphasen und Metall-Isolator-Überg
änge, Anwendungen, Sonstiges
TT 25.70: Poster
Donnerstag, 29. März 2001, 14:30–17:00, Rang S\ 3
Ortsaufgelöste Messung von Mikrowellen–Oberflächenwiderständen dünner HTSL–Schichten bei 20 GHz — •Alexandra Ludsteck1, Kai Numssen1, Helmut Kinder1, Klaus Irgmaier2 und Robert Semerad2 — 1Technische Universität München, James–Franck–Straße, 85748 Garching — 2THEVA Dünnschichttechnik GmbH, Hauptstr. 1B, 85386 Eching–Dietersheim
Wir haben eine Methode zur ortsaufgelösten Messung von
Mikrowellen–Oberflächenwiderständen dünner
Hochtemperatursupraleiter (HTSL)–Schichten entwickelt. Dazu
verwenden wir einen Messaufbau, der auf dem Prinzip des
Parallelplatten–Resonators beruht. Er besteht aus einem offenen
Resonator, der in einer Kühleinheit fixiert ist und einem
beweglichen Probenhalter. Im Resonator befindet sich ein
HTSL–Film mit bekanntem Oberflächenwiderstand. Die zu messende
HTSL–Probe wird über den Resonator bewegt.
Der Scanner arbeitet bei einer Temperatur von 77 K und einer
Frequenz von 20 GHz. Die lineare Ortsauflösung beträgt 5 mm.
Eine regelbare Mikrowellen–Kopplung erlaubt es ausserdem, den
Mikrowellen–Oberflächenwiderstand als Funktion des anliegenden
HF–Magnetfeldes zu messen. Somit lassen sich auch Defekte, die
Nichtlineariäten erzeugen, finden.