Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 28: HF Anwendungen

TT 28.7: Vortrag

Freitag, 30. März 2001, 12:15–12:30, J

Ferroelektrische Varaktoren für Anwendungen in der Mikrowellentechnik — •Roland Ott, Peter Lahl und Roger Woerdenweber — Institut fuer Schicht- und Ionentechnik, FZ Juelich, 52425 Juelich

Die Entwicklungen im Bereich der HF-Anwendungen (z.B. des Mobilfunks) der letzten Jahre haben ein enormes Interesse an frequenzdurchstimmbaren Filtern hoher Güte im GHz-Bereich hervorgerufen. Aufgrund ihrer feldabhängigen dielektrischen Konstanten bieten in Kapazitäten integrierte Ferroelektrika eine ideale Möglichkeit der Frequenzabstimmung. Mittels Sputtertechnologie wurden SrTiO3-Filme auf mit niedrigsten HF-Verlusten behaftetem CeO2-gepuffertem Saphir abgeschieden, Struktur und Morphologie untersucht und optimiert. Während die dielektrischen Konstanten der resultierenden Schichten gegenüber Literaturwerten unverändert hoch sind, konnten die HF-Verluste stark reduziert werden. Mittels spezieller Strukturierungstechniken wurden neuartige planare Kapazitäten entwickelt, die (i) eine hohe Abstimmbarkeit n(U)=C(0)/C(U) schon bei kleinen Spannungen möglich machen und (ii) durch eine laterale Trennung des Ferroelektrikums von den Elektroden die Kombination des Ferroelektrikums mit dem für HF-Anwendungen im GHz-Bereich interessanten YBCO ermöglichen.