Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Vakuummesstechnik

VA 2.1: Vortrag

Montag, 26. März 2001, 10:50–11:10, R221

Partialdruckmessung durch Laser-Absorptions-Spektroskopie mit einem optischen Resonator — •Dirk Maaß, Karl Jousten, Joachim Seidel und Michael Kühne — Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2-12, 10587 Berlin

Die Partialdruckmessung im Hoch-, Fein-, und Grobvakuum durch optische Methoden hat in den vergangenen Jahren verstärktes Interesse gefunden, weil die verfügbaren Quadrupol-Massen-Spektrometer (QMS) gravierende Nachteile in ihren metrologischen Eigenschaften und wegen ihrer Wechselwirkung mit dem zu untersuchenden Gas besitzen. Die Laserabsorptionsspektroskopie im Infrarot bietet eine Alternative zu den QMS. Mit Hilfe eines optischen Resonators können bei geometrischen Abmessungen von wenigen cm Absorptionslängen im km-Bereich realisiert werden. In dieser Arbeit wurde ein Halbleiterlaser mit Hilfe des Pound-Drever-Hall-Verfahrens auf einen optischen Resonator eingestimmt und ein Oberton von Acetylen im Fein- und Grobvakuum mittels Absorption zur Partialdruckmeesung detektiert. Durch Anpassung eines Voigt-Profils an die gemessene Kurve können wesentliche Parameter wie Linienstärke, Dopplerbreite und Eigendruckverbreiterung bestimmt werden.