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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

	Mo, 09:30–10:50	R221	VA 1: Vakuumverfahrenstechnik: EUV-Lithografie
	Mo, 10:50–12:10	R221	VA 2: Vakuummesstechnik
	Mo, 14:00–15:00	R221	VA 3: Vakuummikroelektronik
	Mo, 15:00–17:50	R221	VA 4: Große Vakuumsysteme und Beschleuniger