Bochum 2002 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 16: Niedertemperatur-Plasmen, Plasmatechnologie

P 16.2: Vortrag

Mittwoch, 20. März 2002, 15:35–15:50, HZO 70

Vergleich berechneter und gemessener Ionenenergieverteilungen in der Randschicht kapzitiver Plasmen — •Georg Wenig, Peter Meßerer, Peter Scheubert und Peter Awakowicz — Lehrstuhl für Technische Elektrophysik, Technische Universität München, Arcisstraße 21, 80333 München

Es wird die Ionenergieverteilung (IEDF) in der Randschicht kapazitiv gekoppelter Edelgasplasmen diskutiert. Dazu werden Ergebnisse aus hydrodynamischen Simulationen mit gemessenen Energieverteilungen verglichen. Mit Hilfe einer eindimensionalen hydrodynamischen Simulation werden die zeitlichen Verläufe von Ionendichte und Ionengeschwindigkeit in Bulk und Randschicht selbstkonsistent berechnet. Daraus wird durch Mittelung über einige Perioden die IEDF bestimmt. Zum Vergleich werden Messungen mittels eines Plasmamonitors herangezogen. Mit beiden Methoden wird die Abhängigkeit der IEDF von Parametern wie Druck und HF-Leistung für verschiedene Edelgase untersucht.