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P: Plasmaphysik

P 19: Niedertemperatur-Plasmen, Plasmatechnologie

P 19.4: Talk

Thursday, March 21, 2002, 14:45–15:00, HZO 60

Charakterisierung einer Ionenstrahlquelle: Untersuchungen zum Energieeinstrom — •Ruben Wiese¹, Dimitri Gorbov², Kersten Holger¹ und Hippler Rainer¹ — ¹Institut für Physik, Universität Greifswald, Domstr. 10a, 17489 Greifswald — ²Department of Physics, St. Petersburg State University

Es wurde die radiale Verteilung des Energieeinstoms eines Ar-Ionenstrahls (Ionenquelle: EC/A 125 vom IOM Leipzig) in zwei verschiedenen Abständen von der Quelle untersucht. Zur Messung des Energieeintrages diente eine speziell konstruierte Thermosonde [1]. Der axiale und radiale Verlauf des Energieeintrages wurde in Abhängigkeit von typischen Prozessparametern der Ionenquelle, wie eingekoppelte Mikrowellenleistung, Strahlspannung, Beschleunigungsspannung und Gaszufluss, untersucht. Aus den ermittelten Strahlprofilen ist ein charakteristischer Abfall der Energiestromdichte zu den Seiten hin erkennbar. Aus diese Kenntnissen kann über einen Einsatz dieser Ionenquelle bei der Obeflächenbehandlung entschieden werden bzw. Anordnungen von mehreren Ionenquellen so konstruiert werden, die ein Strahlprofil mit vorgegebenem Verlauf aufweisen. Weiterhin zeigen Experimente bei verschiedenen Substratvorspannungen deutlich den Einfluss des elektrischen Feldes auf den Energieeintrag der verschiedenen Ladungsträger. [1] Kersten,H., Deutsch,H., Steffen,H., Kroesen,G.M.W., Hippler,R., Vacuum 63(2001), 385.