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P: Plasmaphysik
P 2: Plasmadiagnostik
P 2.1: Fachvortrag
Monday, March 18, 2002, 16:40–17:10, HZO 70
Phasenaufgelöste emissionsspektroskopische Untersuchung der Besetzungsdynamik angeregter Zustände in einer Wasserstoff-RF-Entladung — •T. Gans1, V. Schulz-von der Gathen2 und H.F. Döbele2 — 1Jetzt: Ruhr-Universität Bochum, Institut für Experimentalphysik V, 44780 Bochum — 2Universität Essen, Institut für Laser- und Plasmaphysik, 45117 Essen
Eine kurze gepulste Elektronenstoßanregung während der sogenannten
Feldumkehrphase der untersuchten kapazitiv gekoppelten
Wassserstoff-RF-Entladung erlaubt die Bestimmung von
Stoßabregungskoeffizienten aus den bei verschiedenen Drücken
gemessenen effektiven Abregungsraten.
Im dabei verwendeten Modell zur Beschreibung der Besetzungsdichte
angeregter Zustände innerhalb des RF-Zykluses sind zusätzlich zur
Anregung durch Elektronenstoß
auch Schwerteilchenstoßanregungsprozesse zu berücksichtigen.
Des weiteren ist insbesondere bei der Untersuchung von
Stoßabregungskoeffizienten
von Edelgasen, die in geringem Umfang beigemischt werden, eine
zusätzliche Besetzung durch Kaskadenprozesse von großer Bedeutung.
Mit Kenntnis der Stoßabregungskoeffizienten
dieser Referenzgase ist erstmalig eine quantitative Untersuchung sowohl der
Elektronendichte als auch der Elektronenenergie- Verteilungsfunktion im
hochenergetischen Bereich zeit- und ortsaufgelöst innerhalb des
RF-Zykluses entlang der Entladungsachse möglich (siehe auch Poster T.
Gans).
Gefördert von der DFG im Rahmen des SFB 191.