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P: Plasmaphysik

P 2: Plasmadiagnostik

P 2.1: Fachvortrag

Monday, March 18, 2002, 16:40–17:10, HZO 70

Phasenaufgelöste emissionsspektroskopische Untersuchung der Besetzungsdynamik angeregter Zustände in einer Wasserstoff-RF-Entladung — •T. Gans¹, V. Schulz-von der Gathen² und H.F. Döbele² — ¹Jetzt: Ruhr-Universität Bochum, Institut für Experimentalphysik V, 44780 Bochum — ²Universität Essen, Institut für Laser- und Plasmaphysik, 45117 Essen

Eine kurze gepulste Elektronenstoßanregung während der sogenannten Feldumkehrphase der untersuchten kapazitiv gekoppelten Wassserstoff-RF-Entladung erlaubt die Bestimmung von Stoßabregungskoeffizienten aus den bei verschiedenen Drücken gemessenen effektiven Abregungsraten.
Im dabei verwendeten Modell zur Beschreibung der Besetzungsdichte angeregter Zustände innerhalb des RF-Zykluses sind zusätzlich zur Anregung durch Elektronenstoß auch Schwerteilchenstoßanregungsprozesse zu berücksichtigen. Des weiteren ist insbesondere bei der Untersuchung von Stoßabregungskoeffizienten von Edelgasen, die in geringem Umfang beigemischt werden, eine zusätzliche Besetzung durch Kaskadenprozesse von großer Bedeutung.
Mit Kenntnis der Stoßabregungskoeffizienten dieser Referenzgase ist erstmalig eine quantitative Untersuchung sowohl der Elektronendichte als auch der Elektronenenergie- Verteilungsfunktion im hochenergetischen Bereich zeit- und ortsaufgelöst innerhalb des RF-Zykluses entlang der Entladungsachse möglich (siehe auch Poster T. Gans).
Gefördert von der DFG im Rahmen des SFB 191.