Bochum 2002 – scientific programme
Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help
P: Plasmaphysik
P 21: Poster: Grundprobleme, Theorie, Plasmatechnologie, Astrophysikalische Plasmen
P 21.22: Poster
Monday, March 18, 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer
Quantitative Untersuchungen zur Elektronenstoßionisierung von Diboran — •Ralf Basner und Martin Schmidt — INP Greifswald, F.-L.-Jahn-Strasse 19, 17489 Greifswald
Diboran (B2H6) ist ein geeignetes reaktives Ausgangsmolekül für die plasmagestützte Abscheidung von Bornitrid und die Bordotierung von Silizium. Unerlässlich für das Verständnis, die Modellierung und die Optimierung der Oberflächenbehandlungsprozesse ist die Kenntnis über die energetischen Wechselwirkungen im Plasma. Der hier vorgestellte Beitrag dazu berichtet über die experimentelle Bestimmung von absoluten Elektronenstoß-Ionisierungsquerschnitten für die Bildung aller Fragmentionen im Energiebereich vom Schwellwert bis zu 200 eV. Die Elektronenstoßexperimente am B2H6 wurden in der Ionenquelle eines speziellen Flugzeitmassenspektrometers durchgeführt, das auch bei Auftreten kinetischer Anfangsenergien eine vollständige Erfassung aller Fragmentionen gewährleistet. Die dissoziative Ionisierung wurde für Diboran als dominierender Prozess nachgewiesen. Es werden 13 ausschließlich einfach positivgeladene Ionen gebildet. Die aus den experimentellen partiellen Ionisierungsquerschnitten berechneten Werte des totalen Ionisierungsquerschnittes von Diboran durchlaufen in Abhängigkeit von der Energie bei 70 eV ein Maximum von rund 11 x 10−16 cm2.