Bochum 2002 – scientific programme
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P: Plasmaphysik
P 21: Poster: Grundprobleme, Theorie, Plasmatechnologie, Astrophysikalische Plasmen
P 21.27: Poster
Monday, March 18, 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer
Untersuchung der VUV-Excimerstrahlung in gepulsten Mikrohohlkathodenentladungen — •Isfried Petzenhauser1, Leopold Biborosch2, Uwe Ernst1 und Klaus Frank1 — 1Physikalisches Institut I, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg — 2Department of Plasma Physics, Al.I.Cuza-University of Iasi, Ro-6600 Iasi, Romania
Mikrohohlkathodenentladungen stellen eine einfache und effiziente Methode dar Excimerstrahlung zu erzeugen. Die Effizienz liegt im Gleichstrombetrieb im Xenon bei 6-9 % [1], was für eine kommerzielle Nutzung nicht akzeptabel ist. Messungen in Stickstoff haben gezeigt, daß kurze Pulsdauern das Aufheizen des Gases um bis zu 40 % reduzieren, was zu einer Effizienzsteigerung führen sollte [2]. Diese Vermutung wurde in Argon und Xenon für Pulslängen von 1 µs bis 100 µs im Vergleich zum Gleichstrombetrieb überprüft. Die zeitliche Entwicklung der VUV-Strahlung während des Pulses wird präsentiert.
[1] A. El-Habachi, K.H. Schoenbach, "Generation of intense excimer radiation from high-pressure hollow cathode discharges" Appl.Phys.Lett. 73(7), pp.885-887 (1998) [2] U.Ernst, K.Frank, W. Hartmann, I. Petzenhauser, "Spectroscopic Investigations of High Pressure Microhollow Cathode Discharges", DPG Spring Meeting 2001, Berlin Diese Arbeit wurde unterstützt durch die DFG (FR 1273)