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Bochum 2002 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 22: Poster: Magnetische Fusion, Plasmadiagnostik, Dichte Plasmen

P 22.19: Poster

Dienstag, 19. März 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer

Lithium-Atomstrahl-Spektroskopie für Te und Ne in Niedertemperaturplasmen — •M. Böke und J. Winter — Institut für Experimentalphysik II (anwendungsorientierte Plasmaphysik), Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum

In Niedertemperaturplasmen haben Elektronendichte und mittlere Elektronenenergie hohen Einfluß auf chemische Reaktivität und Schichtabscheidung. Daher ist deren Kenntnis – insbesondere deren räumliche Verteilung und zeitliche Entwicklung – von fundamentaler Bedeutung.
Die emittierte Strahlung eines thermischen Lithium- Atomstrahles wird ausgenutzt, um Plasmadichte und mittlere Elektronenenergie zu ermitteln. Mittels eines intensivierten Imaging Spektrometers wird das von den neutralen Lithium-Atomen (angeregt durch Stösse mit Plasmalelektronen) emittierte Licht aufgenommen. Die aus geeigneten Linienintensitätsverhältnissen mit Hilfe eines Stoß-Strahlungsmodelles gewonnenen Plasmaparameter werden zunächst zur Erprobung und Charakterisierung der Diagnostik mit Ergebnissen aus Sondenmessungen in Edelgasplasmen verglichen. LIF-Messungen unter Verwendung eines durchstimmbaren Diodenlasers in externem Resonator (Littman-Anordnung) werden zur Vermessung des Li-Atomstrahles benutzt. Als Entladungsgeometrie steht eine modifizierte GEC-Zelle mit induktiver Einkopplung zur Verfügung, welche bei einer Frequenz von 13.56 MHz und Drücken im Bereich von 0.1-50 Pa betrieben wird. Neben den Messungen mit dem thermischen Lithium-Atomstrahl werden erste Ergebnisse eines gepulsten Laser Blow-Off Lithium-Strahles gezeigt.
Gefördert vom SFB191 (Niedertemperaturplasmen, Teilprojekt B8).

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