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P: Plasmaphysik

P 22: Poster: Magnetische Fusion, Plasmadiagnostik, Dichte Plasmen

P 22.23: Poster

Dienstag, 19. März 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer

Räumliche Konzentrationsverteilungen von Sauerstoffatomen in einer Hochfrequenzentladung in Sauerstoff — •Silke Peters, Bert Krames, Andre Mengel und Jürgen Meichsner — Institut für Physik, Universität Greifswald, Domstr.10a, 17489 Greifswald

Bei den in einem Niedertemperaturplasma ablaufenden Wechselwirkungsprozessen zwischen dem Plasma und den berandenden Oberflächen spielen reaktive Spezies, wie das Sauerstoffatom eine wesentliche Rolle. Als Nachweismethode für den atomaren Sauerstoff dient die Zwei–Photonen–Laserinduzierter–Fluoreszensspektroskopie (TALIF). Die hohe räumliche Auflösung dieser Diagnostik ermöglicht es, Verläufe der atomaren Sauerstoffkonzentration axial sowie radial innerhalb eines Entladungsgebietes mit einer Aulösung von 0,3–0,5 mm zu erfassen.
Interessant sind hierbei die elektrodennahen Gebiete in der experimentell verwendeten kapazitiv gekoppelten, asymmetrischen Hochfrequenzentladung in Sauerstoff. Vorgestellt werden sowohl axiale als auch radiale Dichteverteilungen der Sauerstoffatome, die das gesamte Entladungsgebiet umfassen. Abhängig von den Plasmaparametern und dem Elektrodenabstand finden sich empirisch für die axialen Verläufe Ähnlichkeitsparameter. Diese sind insbesondere durch den diffusionsbestimmten Transport und die Verluste an den Oberflächen begründet.