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P: Plasmaphysik

P 23: Poster: Plasmatechnologie, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Staubige Plasmen, Plasmadiagnostik

P 23.15: Poster

Mittwoch, 20. März 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer

Zeitaufgelöste emissionspektroskopische Untersuchungen einer induktiv gekoppelten Wasserstoff-RF-Entladung — •M. Abdel-Rahman¹, V. Schulz-von der Gathen¹, T. Gans² und H.F. Döbele¹ — ¹Universität Essen, Institut für Laser- und Plasmaphysik, 45117 Essen — ²Ruhr-Universität Bochum, Institut für experimentelle Physik, 44780 Bochum

Phasenaufgelöste emissionsspektroskopische Untersuchungen in einer kapazitiv gekoppelten Wasserstoff-RF-Entladung mit einer schnell pulsbaren CCD-Kamera erlaubten einen detaillierten Einblick in die Anregungsdynamik atomarer und molekularer Zustände (siehe Beiträge T. Gans). Diese Untersuchungsmethode wird in diesem Experiment eingesetzt, um die auf Grund der unterschiedlichen Heizmechanismen in der induktiv gekoppelten Entladung zu erwartenden Unterschiede in der Anregungsdynamik zu identifizieren. Erste Ergebnisse werden vorgestellt, die bei Leistungs- und Druckvariation mit diesem Detektionssystem an einer induktiv gekoppelten RF-Entladung (typisch. 1-10 Pa, 100-300 W) mit planarer Spulengeometrie ortsaufgelöst erhalten wurden.
Gefördert von der DFG im Rahmen des SFB 191 und durch ein Stipendium der ägyptischen Regierung für M. Abdel-Rahman.