Bochum 2002 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 23: Poster: Plasmatechnologie, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Staubige Plasmen, Plasmadiagnostik

P 23.2: Poster

Mittwoch, 20. März 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer

Beschichtung von Mikroteilchen in einem Acetylen- bzw. Methan-Plasma — •Gabriele Thieme, Holger Kersten und Rainer Hippler — Institut für Physik, Universität Greifswald, Domstrasse 10a, 17487 Greifswald

In RF-Entladungen in Acetylen- bzw. Methan-Argon-Gemischen wurden auf SiO2-Teilchen ( 1000nm) dünne a-C:H-Schichten abgeschieden. Unter den verwendeten experimentellen Bedingungen (5Wrf, 5Pa) wurde neben der Schichtabscheidung die Erzeugung nanodisperser Kohlenstoffpartikel ( 100nm) beobachtet. Die eingebrachten und die synthetisierten Teilchen wurden mit Hilfe von Elektronenmikroskopie (SEM) untersucht. Um den Verbrauch des Precursorgases und die bei der Schichtabscheidung dominanten Spezies zu charakterisieren, wurde der Prozess mittels IR-Diodenlaser-Absorptionsspektroskopie [1] untersucht.

[1] Röpcke, J., Mechold, L., Käning, M., Anders, J., Wienhold, F.G., Zahniser, M. Rev.Sci.Instrum., 71, 3706 (2000)