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P: Plasmaphysik

P 23: Poster: Plasmatechnologie, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Staubige Plasmen, Plasmadiagnostik

P 23.21: Poster

Mittwoch, 20. März 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer

HF-Hohlkathodenplasma-Matrizen bei atmosphärischem Druck — •Andrej Ignatkov, Axel Schwabedissen und Jürgen Engemann — Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik - fmt, Bergische Universität GH Wuppertal, Obere Lichtenplatzer Str. 336, 42287 Wuppertal

Ausgehend von den bereits existierenden, im mbar-Bereich arbeitenden HF (13.56 MHz) Hohlkathodenplasmaquellen, sind HF Hohlkathodenplasma-Matrizen bei atmosphärischem Druck entwickelt worden. Der Einfluss von Gasmischung, Elektrodenmaterial und -geometrie sowie eingekoppelter HF-Leistung auf die Entladungsstabilität ist untersucht worden. Ein Betrieb als homogene, nicht filamentäre Glimmentladung bei atmosphärischem Druck wurde für folgende Gase und Gasmischungen erreicht: He, Ar, He:O₂ (bis 40% O₂), He:N₂ (bis zu 10% N₂). Im Vergleich zu anderen homogenen Glimmentladungen bei atmosphärischem Druck ist der Gehalt an molekularen Gasen relativ hoch. Aus Strom- und Spannungsmessungen lassen sich Elektronendichten und -temperaturen abschätzen, die im Bereich von 10¹¹ cm⁻³ bzw. unterhalb 0.5 eV liegen. Spektroskopische Messungen der Rotationstemperatur von N₂⁺ ergeben Gastemperaturen unterhalb von 400 K.