Bochum 2002 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 3: Niedertemperatur-Plasmen, Plasmatechnologie

Montag, 18. März 2002, 17:10–17:40, HZO 60

	17:10	P 3.1	Abscheidung diamantähnlicher Schichten in einem gepulsten HF Plasma — •Gennady Fedosenko, Axel Schwabedissen, Detlef Theirich und Jürgen Engemann
	17:25	P 3.2	Erzeugung von quarzähnlichen Schichten mit einem Mikrowellenplasma in Sauerstoff — •Felix Leu, Albrecht Brockhaus, Detlef Theirich und Jürgen Engemann