DPG Phi
Verhandlungen
Verhandlungen
DPG

Bochum 2002 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

PV: Plenarvorträge

PV V

PV V: Plenarvortrag

Dienstag, 19. März 2002, 14:30–15:15, HZO 30

Modellierung und Simulation technischer Plasmen — •Ralf Peter Brinkmann — Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum

Die in verschiedenen Bereichen der Technik eingesetzten Plasmen umfassen einen Druckbereich von 10−2 bis 107 Pa und Elektronendichten von 108 bis 1015 cm−3. Auch andere charakteristische Parameter variieren in ähnlichem Umfang. Vor jeder Plasmasimulation stellt sich daher die Aufgabe der Modellierung; also der Identifikation des für die jeweilige Fragestellung adäquaten mathematischen Modells. Mit diesen Entscheidungen (kinetisch oder fluiddynamisch, transient oder stationär, räumlich aufgelöst oder nicht) ist auch immer eine Kosten-Nutzen-Abwägung verbunden.

Die Präsentation wird einige Ansätze zur Simulation plasmagestützter Fertigungsverfahren der Mikroelektronik vorstellen. Neben der Simulation von Gesamtreaktoren auf der makroskopischen Skala (∼m) steht die Analyse der Plasmarandschicht (∼mm) und die Simulation der Strukturevolution auf der mikroskopischen Skala (∼0.1 nm) Blick. Ferner wird diskutiert, wie mit Hilfe einer modellbasierten Plasmadiagnostik die in-situ Überwachung und Regelung von Plasmaprozessen in technischen Produktionsanlagen realisiert werden kann.

100% | Mobil-Ansicht | English Version | Kontakt/Impressum/Datenschutz
DPG-Physik > DPG-Verhandlungen > 2002 > Bochum