Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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CPP: Chemische Physik und Polymerphysik

CPP 6: Poster: Neue Methoden

CPP 6.9: Poster

Montag, 11. März 2002, 13:30–15:00, B

Infrarot-Ellipsometrie zur in-situ Charakterisierung: Instrumentierung am IRIS-Strahlrohr bei BESSY II — •K. Hinrichs¹, M. Gensch¹, U. Schade², N. Esser³, A. Röseler¹ und E.H. Korte¹ — ¹ISAS-Institutsteil Berlin, Albert-Einstein-Str. 9, D-12489 Berlin-Adlershof — ²BESSY II, Albert-Einstein-Str. 15, 12489 Berlin-Adlershof — ³TU Berlin, Institut für Festkörperphysik, Hardenbergstr. 36, 10623 Berlin

Um das erforderliche Nachweisvermögen für die Infrarot (IR)-spektroskopische Untersuchung dünner organischer Filme und von Molekülen auf Halbleiteroberflächen in einer starren Messgeometrie zu erreichen, die mit nur einer externen Reflexion auskommt, soll die hochbrillante Synchrotronstrahlung als Strahlungsquelle verwendet werden. An dem Infrarotstrahlrohr des Speicherringes bei BESSY II wird ein Ellipsometer installiert, welches eine speziell auf die Eigenschaften der Synchrotronstrahlungsquelle (kleine Quellgröße, kleiner Öffnungswinkel) zugeschnittene Optik besitzt. Für temperaturabhängige Messungen in einer definierten Umgebung wird in dieses Ellipsometer eine kleine Ultrahochvakuum-Kammer mit einem Kryostaten implementiert.