Regensburg 2002 – scientific programme

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DF: Dielektrische Festkörper

DF 7: Dielektrische und ferroelektrische Schichten und Rastermethoden

DF 7.3: Talk

Thursday, March 14, 2002, 10:30–10:50, 11

Strukturelle und ferroelektriche Eigenschaften epitaktischer PbZr_0.52Ti_0.48O₃ und BaTiO₃ Schichten hergestellt auf SrRuO₃/SrTiO₃(100) Substraten — •Jürgen Schubert¹, Julio Rodriguez-Contreras² und Hermann Kohlstedt² — ¹Forschungszentrum Jülich, ISG1-IT — ²Forschungszentrum Jülich, IFF-EMK

Wir haben einkristalline epitaktische PbZr_0.52Ti_0.48O₃ (PZT) und BaTiO₃(BTO) Schichten auf einkristallinem epitaktischen SrRuO₃(SRO) Schichten, die auf SrTiO₃(100) (STO) Substraten hergestellt wurden, untersucht. Die PZT und SRO Schichten wurden mit Sauerstoff-Hochdrucksputtern und BTO mittels PLD hergestellt. Sie wurden mit XRD, HRTEM, RBS und channeling auf ihre strukturellen Eigenschaften untersucht. Alle Filme waren c-Achsen texturiert und parallel zur Kristallorientierung des STO ausgerichtet. Scharfe Grenzflächen und atomare glatte Oberflächen konnten mit HRTEM und AFM nachgewiesen werden. Der Dickenbereich, in dem die ferroelektrischen Eigenschaften der Filme charakterisiert wurden, lag zwischen 12 nm und 200 nm. Ferroelektrische Hysteresekurven konnten bis zu einer Dicke von 12 nm in beiden Materialien nachgewiesen werden. PZT zeigte Fatigue nach ca. 10⁷ Zyklen, während BTO nch 10⁸ Zyklen kein Fatigue aufweist.