Regensburg 2002 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 11: Diamant und ta-C

DS 11.3: Talk

Wednesday, March 13, 2002, 15:15–15:30, HS 31

Fremdatom- und Eigendiffusion in amorphen Kohlenstoffen — •H. Kröger¹, C. Ronning¹, H. Hofsäss¹, P. Neumaier², L. Görgens², A. Bergmaier² und G. Dollinger² — ¹Universität Göttingen, II. Physikalisches Institut, 37073 Göttingen — ²Technische Universität München, Physik Department E12

Es wurde die Diffusion verschiedener Elemente und Isotope in amorphem Kohlenstoff (a-C) und in tetraedrisch amorphem Kohlenstoff (ta-C) untersucht. Dazu wurden mit massenseparierter Ionenstrahldeposition spezielle Schichten mit δ-Profilen der jeweiligen Fremdatome hergestellt. Durch hochauflösende ERD-Messungen an ¹³C-δ-Schichten konnte gezeigt werden, dass bei Anlasstemperaturen bis 900^oC keine signifikante Eigendiffusion vorliegt, die einen Einfluß auf die Diffusion anderer Elemente haben könnte. Des weiteren wurde die Diffusion von Wasserstoff an den Isotopen ¹H und ²H ebenfalls mit ERD untersucht. Die Diffusion der Metalle Kupfer, Silber und Wolfram in ta-C wurde mittels RBS vermessen, wobei die Schichten bis auf Temperaturen von 1200^oC angelassen wurden. Für die drei Metalle konnte gezeigt werden, dass bis zu einer Temperatur von 1000^oC keine signifikante Diffusion in ta-C eintritt.