Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

DS: Dünne Schichten

DS 13: Schichteigenschaften II

DS 13.2: Vortrag

Mittwoch, 13. März 2002, 16:45–17:00, HS 31

Untersuchungen der Korrosion von Festspeicherplatten mittels mikro-XANES — •P. Bernhard¹, Ch. Ziethen¹, F. Wegelin¹, A. Krasyuk¹, F. Senf², H. Hilgers³ und G. Schönhense¹ — ¹Universität Mainz — ²BESSY GmbH, Berlin — ³IBM Deutschland, Mainz

In der zukünftigen Entwicklung von Festspeicherplatten wird eine Erhöhung der Datenspeicherdichte auf über 100 Gbit/square-inch angestrebt, die sich durch die Verringerung des Abstandes zwischen Schreib-/Lesekopf und magnetischer Schicht erreichen läßt. Eine Möglichkeit, dies zu erzielen, liegt in der Reduzierung der Dicke der Kohlenstoff-Schutzschicht von derzeit etwa 5 nm auf 2nm. Gleichzeitig müssen aber funktionale Schichteigenschaften wie Kratzhärte und Korrosionsschutz erhalten bleiben. Um die Abhängigkeit der Korrosion magnetischer Schichten bei abnehmender Dicke der Schutzschicht zu klären, wurden mit TOF-SIMS gezielt Stufenprofile in den Kohlenstoff strukturiert. Diese wurden mittels mikro-XANES an den Kobalt/Chrom L₂/L₃-Kanten und an den K-Kanten von Sauerstoff und Kohlenstoff untersucht(zur Methodik siehe [1]). Die Messungen erfolgten mit einem Röntgenabsorptions-Spektromikroskop (X-PEEM) am Speicherring BESSY II (Berlin). Aus der Analyse der Messungen läßt sich eine Aussage über eine mögliche Oxidation der magnetischen Schicht bei einer bis zur Nukleationsphase verringerten Dicke der Schutzschicht treffen. Gefördert vom BMBF, FKZ 13N7759

[1] Ch. Ziethen et al., Diamond Relat. Mat., in press