Regensburg 2002 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 2: Elektrische und optische Eigenschaften II

DS 2.6: Talk

Monday, March 11, 2002, 12:15–12:30, HS 31

Gitterverzerrung als Qualitätsmerkmal für ITO-Schichten — •Dieter Mergel und Zhaohui Qiao — Uni Essen, AG Dünnschicht-Technologie, 45117 Essen

Wir haben mit dc-Magnetron Sputtern ITO-Schichten bei verschiedenen Temperaturen und Sauerstoffflüssen hergestellt. Korngröße, Ladungsträgerdichte, Beweglichkeit und Brechungsindex sind stark mit der Gitterverzerrung korreliert. Aus der Literatur sind Modelle bekannt, die obige Parameter paarweise miteinander verknüpfen, z.B. Beweglichkeit mit Korngröße oder Ladungsträgerdichte. Wir zeigen, dass alle Ergebnisse ursächlich auf Zwischengitterdefekte zurückgeführt werden können, die auch die Verzerrung erzeugen.