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DS: Dünne Schichten

DS 22: Multilayer II

DS 22.2: Vortrag

Donnerstag, 14. März 2002, 15:15–15:30, HS 31

Grenzflächen und Struktur laserdeponierter Metall-Keramik-Schichtsysteme — •C. Fuhse und H.-U. Krebs — Institut für Materialphysik, Universität Göttingen, D-37073 Göttingen

Metall-Keramik-Schichtsysteme wurden mittels gepulster Laserdeposition im Ultrahochvakuum hergestellt. Dabei wurden insbesondere die Systeme Fe/MgO und Ni₈₀Nb₂₀/MgO untersucht, die als Tunnelmagnetowiderstandssystem bzw. in Form von Vielfachschichten als Spiegel für weiche Röntgenstrahlung im „water-window“ (Wellenlängen 2.2–4.4 nm) [1] von Interesse sind. Es wurden jeweils bis zu 80 Doppelschichten Fe/MgO bzw. Ni₈₀Nb₂₀/MgO mit Perioden von 2–5 nm hergestellt und insbesondere mittels Kleinwinkel-Röntgenstreuung untersucht. Dabei zeigte sich, dass sich mit dieser Methode selbst bei Doppelschichtdicken von nur etwa 2 nm in beiden Systemen Schichtstrukturen mit Grenzflächenrauigkeiten unter 0.5 nm herstellen lassen.

[1] S. Vitta et al, Optics Letters 26, 1448 (2001).