DS 23: Ionenimplantation: Ionenstrahlmischen
Thursday, March 14, 2002, 09:30–10:15, HS 32
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09:30 |
DS 23.1 |
Einfluss des Bestrahlungswinkels auf das Hochenergie-Ionenmischen keramischen Dünnschicht-Systemen — •Wolfgang Bolse, Ando Feyh, Tilman Renz, Beate Schattat , Jens Wiesner, Siegfried Klaumünzer und Frank Schrempel
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09:45 |
DS 23.2 |
Ion beam mixing and compound formation in metal/semiconductor bilayers systems — •S. Dhar, M. Milosavljevic, P. Schaaf, N. Bibic, and K. -P. Lieb
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10:00 |
DS 23.3 |
Ionenstrahlinduzierte Grenzflächendurchmischung in CuOx/SiO2 durch elektronische Energiedeposition — •Beate Schattat, Wolfgang Bolse, Ando Feyh, Tilman Renz, Jens Wiesner, Siegfried Klaumünzer, Axel Jasenek und Frank Schrempel
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