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DS: Dünne Schichten

DS 26: FV-internes Symposium „Strukturbildung durch Ionenstrahlen“ Teil II

DS 26.1: Hauptvortrag

Donnerstag, 14. März 2002, 15:30–16:00, HS 32

Wachstumsprozesse bei der Ionenstrahlsynthese dünner Schichten — •Carsten Ronning — II. Physikalisches Institut, Universität Göttingen, Bunsenstr. 7-9, 37073 Göttingen

Im Gegensatz zu den meisten anderen Depositionsmethoden laufen bei der Ionendeposition mit energetischen Ionen von 10 eV bis hin zu 1000 eV die wesentlichen Wachstums- und Phasenbildungsprozesse wenige nm unterhalb der Oberfläche der wachsenden Schicht ab. Als Folge der Wechselwirkung einzelner Ionen mit dem Festkörper- treten Ordnungsphänomene und Strukturbildungsprozesse auf Zeitskalen von Femto- bis Pikosekunden auf, die zur athermischen Entstehung bestimmter, metastabiler Phasen, zur Bildung amorpher oder kristalliner Atomagglomerate und teilweise auch zur Bildung texturierter Schichten führen kann. In diesem Vortrag werden dazu einige Beispiele aus dem Bereich diamantähnlicher Schichten behandelt, sowie Modellvorstellungen des Depositionsprozesses diskutiert.