Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 27: Postersitzung

DS 27.1: Poster

Dienstag, 12. März 2002, 15:30–17:30, Poster Physik B

Diamantabscheidung mittels induktiver RF-Entladung — •Guifeng Zhang und Volker Buck — Fb Physik, Universität Essen, 45117 Essen

In einer modifizierten GEC-Zelle mit einer speziellen Doppelspiral-Einkoppelspule lassen sich hohe Plasmadichten bei Teilchenenergien bis herab zu ca. 10eV erreichen /1/. Ohne Faraday-Polarisator lassen sich in dieser Anordnung Diamantschichten abscheiden; der Einfluß üblicher Prozeßparameter wie Substrattemperatur, Gasfluß, Druck usw. auf die Schichteigenschaften zeigt dabei ähnliche Ergebnisse, wie sie von anderen Abscheideverfahren bekannt sind (die Schichten werden - wie üblich - mittels Rasterelektronenmikroskopie, Röntgenbeugung und Ramanspektroskopie analysiert, die Schichtdicke wird mittels FT-IR Spektroskopie bestimmt). Zusätzlich kann nun aber durch Anlegen einer Substratvorspannung die Teilchenenergie variiert und ihr Einfluß auf die Schicht- Eigenschaften untersucht werden. Dabei zeigt es sich, daß sich die Schichtqualität mit zunehmender Energie rasch verschlechtert, bis diamant-ähnliche Schichten auftreten. /1/ U. Czarnetzki, V. Kadetov, D. Luggenhölscher, H.F. Döbele: Plasma diagnostics by laser spectroscopic electric field measurements, Proc. 10th Int. Symp. Laser-Aided Plasma Diagnostics. Umino- nakamichi, Fukuoka, Japan, 24 - 28 Sept. 2001, S.15