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DS: Dünne Schichten

DS 27: Postersitzung

DS 27.12: Poster

Dienstag, 12. März 2002, 15:30–17:30, Poster Physik B

Gezielte elektrochemische Metallabscheidung aus Kapillarsonden — •Angelika Bunk, Anne-D. Müller, Falk Müller und Michael Hietschold — TU Chemnitz, Institut für Physik, 09107 Chemnitz

Im Leitbahnsystem von Halbleiterschaltkreisen wird ein Austausch von Aluminium durch Kupfer angestrebt, da dieses eine höhere Elektromigrationsstabilität und einen geringeren spezifischen Widerstand aufweist. Die Kontaktierung von mikromechanischen Baugruppen auf stark strukturierten Substraten mit Hilfe von lithographischen Verfahren ist jedoch nur sehr begrenzt möglich.

Vorgestellt wird ein schreibendes Verfahren zur elektrochemischen Herstellung von linearen Strukturen auf flachen und gestuften Substraten. Es werden zwei Elektroden in verschiedenen Gold- und Kupfer-Elektrolyten verwendet, wobei die Gegenelektrode in einer dünnen Glaskapillare mit Elektrolytdurchfluß untergebracht ist. Die Feldverteilung unterhalb der Kapillaröffnung bewirkt die Ortsauflösung. Mit dem gegenwärtig betriebenen Meßaufbau können Substrat und Kapillare unter optischer Beobachtung horizontal und vertikal mit sub-µm-Genauigkeit zueinander positioniert werden. Für unterschiedliche Elektrolyt-Substrat-Systeme werden Strukturen gezeigt. U.a. wurden 35 µm breite Kupferleitbahnen über eine 0,35 mm hohe Stufenkante mit 57^∘ Flankensteilheit gezogen sowie Strukturen mit 5 µm Durchmesser abgeschieden.