Regensburg 2002 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 27: Postersitzung

DS 27.14: Poster

Tuesday, March 12, 2002, 15:30–17:30, Poster Physik B

Experimente und Simulationen zum Wachstum amorpher Aufdampfschichten bei schräger Schichtdeposition — •Sebastian Vauth¹, Christoph Streng¹, Stefan G. Mayr² und Konrad Samwer¹ — ¹I. Physikalisches Institut, Universität Göttingen, Bunsenstr. 9, D-37073 Göttingen — ²zur Zeit: Department of Materials Science and Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, 405 W. Green St., Urbana, IL 61801, U.S.A.

Beim Aufdampfen amorpher Schichten bilden sich in der Oberflächenmorphologie Strukturen. Dies ist somit ein Beispiel für die Entstehung mesoskopischer Phänomene aus atomaren Prozessen, die wegen der Abwesenheit kristalliner Anisotropie im Detail untersucht und modelliert werden können. Nach senkrecht bedampften amorphen Schichten sind nun unter einem Verkippungswinkel hergestellte Filme von Interesse. Zur Modellierung auf mesoskopischer Skala werden stochastische Feldgleichungen verwendet, denen atomare Prozesse wie Oberflächendiffusion und Selbstabschattung zugrunde liegen. In der Monte - Carlo - Simulation werden die Auswirkungen atomarer Prozesse auf die mesoskopische Skala untersucht, wobei hier im wesentlichen von einem DLA - Modell ausgegangen werden kann, das sich noch durch Nahordnungseffekte wie Clusterbildung erweitern läßt. In beiden Modellierungen wird als Parameter der Verkippungswinkel eingeführt. Die so gewonnenen Simulationsergebnisse lassen sich dann mit rastertunnelmikroskopischen Aufnahmen vergleichen.