Regensburg 2002 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 27: Postersitzung

DS 27.23: Poster

Tuesday, March 12, 2002, 15:30–17:30, Poster Physik B

Zerstörungsfreie ionenstrahlanalytische 3D-Charakterisierung von Zn_2−2xCu_xIn_xS₂-Dünnschichten — •D. Spemann¹, J. Vogt¹, T. Butz¹, D. Oppermann² und K. Bente² — ¹Nukleare Festkörperphysik, Universität Leipzig, Linnéstr. 5, D-04103 Leipzig — ²IMKM, Universität Leipzig, Scharnhorststr. 20, D-04275 Leipzig

Dünne Filme von ZnS-CuInS₂-Mischkristallen (auch ZCIS genannt) sind geeignete Absorbermaterialien für Dünnschichtsolarzellen. Zur Optimierung der Schichtqualität wurden Filme unterschiedlicher Zusammensetzung mittels Pulsed Laser Deposition (PLD) auf (001)GaP-, SiO₂- und CeO₂/Al₂O₃-Substraten abgeschieden. Die Zusammensetzung der Schichten wurde zerstörungsfrei orts- und tiefenaufgelöst mittels Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) und Particle Induced X-Ray Emission (PIXE) unter Verwendung eines 2 MeV He⁺-Ionen-Mikrostrahls bestimmt. Dabei wurde festgestellt, daß die Zusammensetzung der Schichten im allgemeinen nicht unerheblich von der Zusammensetzung der PLD-Targets abweicht. Außerdem wiesen einige Proben starke laterale Inhomogenitäten in der Schichtdicke auf, was sich auf eine mangelnde Qualität der PLD-Targets bzw. auf eine schlechte Haftung der Schichten auf den Substraten zurückführen läßt. Die Ergebnisse lassen erwarten, daß durch die Verwendung besserer Targets homogenere Schichten hergestellt werden können.