Regensburg 2002 – scientific programme
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DS: Dünne Schichten
DS 27: Postersitzung
DS 27.32: Poster
Tuesday, March 12, 2002, 15:30–17:30, Poster Physik B
Hochaufgelöste Strukturuntersuchungen und lokale EELS der Nukleationsphase ultradünner CNx-Schutzschichten im TEM — •F. Wegelin1,2, V. Roddatis3, M. Neuhäuser1, S.A. Nepijko2, H. Hilgers1 und G. Schönhense2 — 1IBM Deutschland, Mainz — 2Universität Mainz — 3Fritz-Haber-Institut, Berlin
In der Magnetspeicherplattenindustrie werden hochgradig sp3-koordinierte C- und CNx-Schichten von wenigen nm Dicke als Schutzschichten für magnetische Komponenten verwendet [1]. Solche Schichten lassen sich u. a. mit Hilfe der Hochstrombogen-Verdampfung abscheiden. Um das Ziel, immer dünnere Schutzschichten herzustellen, erreichen zu können, ist ein grundlegendes Verständnis der Nukleationsphase notwendig. Hierzu wurden derartige CNx-Schichten auf Si(100)-Wafern abgeschieden und mittels HRTEM untersucht. Dabei wurden lokal EELS der C und NK-Kante sowohl aus dem Bereich der Nukleationsphase als auch dem Bulk gewonnen. Anhand des relativen Anteils der π*-Resonanz an der CK-Kante lassen sich Aussagen über die Hybridisierung des Kohlenstoffs in der Schicht treffen. Aus den unterschiedlichen Kontrastverhältnissen in den hochauflösenden Abbildungen geht hervor, daß die CNx-Schicht nahe des Si (100)-Wafers eine Zwischenschicht aufweist, deren Dicke 2 nm beträgt. Diese Nukleationsphase weist eine andere Hybridisierung der C-Atome auf, was aus den lokalen EELS-Messungen deutlich wird (Unterschiedliche Anteile der π*-Resonanz an der Gesamtfläche der CK-Kante). (Gefördert von BMBF FKZ13N7759)
[1] F. Wegelin et al., Vakuum in Forschung und Praxis, 5 (2001) 287; Ch. Ziethen et al., Diam. rel. Mat., in press