Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 27: Postersitzung

DS 27.34: Poster

Dienstag, 12. März 2002, 15:30–17:30, Poster Physik B

Methodische Fortschritte bei der Bestimmung des Elastizitätstensors: Brillouin-Lichtstreuspektroskopie an Wolframkarbidkeilschichten — •G. Distler, T. Wittkowski, K. Jung und B. Hillebrands — Fachbereich Physik und Schwerpunkt Materialwissenschaften, Universität Kaiserslautern, Erwin-Schrödinger-Str. 56, 67663 Kaiserslautern

Die Brillouin-Lichtstreuspektroskopie ist eine ausgezeichnete Methode zur vollständigen Charakterisierung der elastischen Eigenschaften dünner Schichten. Dabei wird Licht inelastisch an akustischen Phononen gestreut. Aus der Dispersion der Oberflächenwellen lassen sich durch Vergleich mit Simulationsrechnungen die wesentlichen Komponenten des Elastizitätstensors ermitteln. Üblicherweise wird der Verlauf der Dispersionkurve dadurch gewonnen, dass an unterschiedlich dicken Proben durch Variation des Streuwinkels der Wellenvektor verändert wird. Durch Herstellung von Keilproben werden bisherige Fehlerquellen praktisch ausgeschlossen und die Genauigkeit der Messung wird wesentlich erhöht. Am Beispiel von gesputterten Wolframkarbidschichten wird die Abhängigkeit des elastischen Verhaltens von der Energie der plattierenden Ionen untersucht.