Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 3: Schichtwachstum: Modellierung
DS 3.2: Vortrag
Montag, 11. März 2002, 14:15–14:30, HS 31
Nichtlineare Effekte bei der Simulation von Sputtererosion — •Alexander K. Hartmann1, Reiner Kree2, Ulrich Geyer2 und Matthias Kölbel2 — 1Ecole Normale Supérieure, 24 Rue Lhomond, 75231 Paris Cedex 05, Frankreich — 2Universität Göttingen, Bunsenstr.9, 37073 Göttingen
Beim Beschuss von Festkörperoberflächen mit hoch-energetischen Ionen (Sputtern) bilden sich unter geeigneten Umständen wellenförmige Muster auf der Oberfläche. Aufgrund der Ergebnisse von Simulation eindimensionaler Modelle und aus analytischen Rechnungen wurde das Auftreten von nichtlinearen Effekten, wie das Auflösen oder Verändern der Muster, für lange Sputterzeiten vorhergesagt. Kürzlich wurden solche Effekte auch in Experimenten beobachtet. Aufgrund des hohen numerischen Aufwandes war es bisher nicht möglich im Rahmen von Simulationen diese Effekte auf zweidimensionalen Oberflächen zu beobachten. Hier wird ein einfaches 2+1 dimensionales diskretes Modell vorgestellt, das die Darstellung des Sputterprozesses implementiert, auf dem die analytischen Theorien basieren. Bei Simulationen über kurze Zeiten wurden die linearen Effekte aus detaillierten Simulationen wiedergefunden. Aufgrund der einfachen Struktur des Modells konnten auch sehr lange Zeiten simuliert und das Auftreten von nichtlinearen Effekten beobachtet werden.