Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 4: Prozeßcharakterisierung

DS 4.2: Vortrag

Montag, 11. März 2002, 15:15–15:30, HS 31

Insitu-Messungen des Energieeintrags bei der Laserdeposition verschiedener Materialien — •Michael Mans, Sven Linzen, Frank Schmidt und Paul Seidel — Institut für Festkörperphysik, Friedrich-Schiller-Universität Jena, Helmholtzweg 5, 07743 Jena

Es wird ein bolometrischer Dünnschichtsensor vorgestellt, der bei der Laserdeposition die insitu-Messung des Energieeintrags in die wachsende dünne Schicht bei simultaner Schichtherstellung ermöglicht. Die ersten Messungen an, bei Raumtemperatur abgeschiedenem, Wismut werden gezeigt, sowie die Korrelation zwischen Energieeintrag und Struktureigenschaften, erörtert. Hierzu werden vor allem Röntgendiffraktometriedaten und AFM-Aufnahmen herangezogen und der Einfluß der schnellfliegenden Depositionsteilchen diskutiert. Im weiteren werden die ersten Ergebnisse ebensolcher Messungen bei YBa₂Cu₃O_7−x (Substrattemperatur ca. 920K) vorgestellt. Die Arbeit wurde gefördert durch das BMBF (Projekt-Nr. 13N6808A und 13N8171)